本文標題："STM顯微鏡解析度高于光學式顯微鏡-精密工藝技術"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
人瀏覽過-----時間：2013-8-17 10:13:36
STM顯微鏡解析度高于光學式顯微鏡-精密工藝技術
在各類科技不斷湧現的今天，究竟哪一種技術才稱得上是革命性的技術？對此，
不同領域的學者或有不同的見解，但綜觀目前的科學主流，一般咸認納米科技是最有潛力成為下一個足以影響
人類的革命性技術之一。
自 1980 年代初發明了 STM顯微鏡（scanning tunneling microscope）、AFM顯微鏡（atomic
force microscope）等解析程度達原子級的顯微鏡，使得研究人員能夠觀測到材料
的微結構，在此基礎下，材料可被精緻化，舊有材料性質得以改善，甚至開發出
許多性能獨特的新材料，如今這種在超細微尺度下的精密工藝技術統稱為納米科技
微觀粒子具穿越能障的能力，稱之為穿隧效應。在納米科技興起以前，此現
象僅能在原子層級的微觀世界中觀測到，近年來于納米材料的相關研究，陸續在
宏觀的實驗里量測到了一些與穿隧效應有關的巨觀物理量，例如納米微粒的磁化
強度和量子相干元件中之磁通量等測量，均發現穿隧效應的現象存在，故稱之為
巨觀量子穿隧效應（賴佳伶，2003）。常規鎳金屬在室溫時呈強鐵磁性，但鎳奈
米粒子卻呈現順磁性，且其飽和磁化率較一般順磁性材料高好幾個數量級，此行
為被歸類為超順磁性（super-paramagnetism），研究人員便是利用電子的量子穿隧
效應來解釋超順磁性行為（羅吉宗等，2003）。巨觀量子穿隧效應不僅對基礎研
究有相當的重要性，對實用化的應用更具意義；如在制造半導體積體電路時，當
電路尺寸接近電子波長，電子會藉由穿隧效應而溢出元件，使原件無法正常工
作。
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