本文標(biāo)題："微機(jī)電芯片元件粘接技術(shù)-質(zhì)量檢測顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過-----時(shí)間：2017-6-14 20:1:49
微機(jī)電芯片元件粘接技術(shù)-質(zhì)量檢測顯微鏡
半導(dǎo)體元件被一層鈍化層保護(hù)，將晶片分割成芯片不會(huì)損傷
器件。這與在微機(jī)電系統(tǒng)中完全不同，這里要分開的元件通常是具
有窄縫和明溝的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，如果這些微結(jié)構(gòu)沒有被保護(hù)，則用鉆石
鋸分割的過程和使用的冷卻液將損害這些微結(jié)構(gòu)。由于微機(jī)電系統(tǒng)
是三維的機(jī)構(gòu)，所以用鈍化層保護(hù)是不可行的。在晶片上覆蓋一個(gè)
防護(hù)玻璃罩，晶片可以在精密的結(jié)構(gòu)被完全保護(hù)的條件下被分割成
單獨(dú)的元件。
在微電子學(xué)中，陽極粘接一般用來生產(chǎn)整個(gè)晶片上的芯片附屬
物，此附屬物被電連接到基底上的一個(gè)互連結(jié)構(gòu)上。在微機(jī)電系統(tǒng)
中，陽極粘接的任務(wù)是多方面的，它不僅保護(hù)晶片不被弄臟(當(dāng)然
這需要覆蓋物)，而且微結(jié)構(gòu)或微系統(tǒng)的功能也恰需要一個(gè)防護(hù)罩
，例如，用粘接生產(chǎn)一個(gè)密封的腔以建造一個(gè)壓力傳感器或?yàn)橐苿?dòng)
的振動(dòng)體提供相對的電極以測量加速度。
后一篇文章：光學(xué)磨光的金屬精密測量分析顯微鏡 »
前一篇文章：« 封裝技術(shù)焊接機(jī)械應(yīng)力精細(xì)零件分析顯微鏡
tags:材料學(xué),光學(xué),金相顯微鏡,上海精密儀器,
微機(jī)電芯片元件粘接技術(shù)-質(zhì)量檢測顯微鏡,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
本頁地址：/gxnews/4299.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/