本文標題："宏觀幾何量CCD工業顯微鏡制造廠商-檢測砂輪微觀幾何"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
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宏觀幾何量CCD工業顯微鏡制造廠商-檢測砂輪微觀幾何
宏觀幾何量中的傳感器
大部分傳感器可用于測量宏觀幾何量的特性。任何類型的
傳感器與旋轉刀具的機械接觸都會引起一系列的問題，因為研磨劑
總是趨于去研磨所接觸到元件的原材料。只有通過具有小的接觸力
的短接觸脈沖，及通過應用頂端非常硬的材料，例如，碳化鎢，才
可能達到滿意的結果。例如，利用偏心驅動實現針的擺動來測量砂
輪半徑磨損的系統已被使用，其中切削速度可以達到35m／s。然而
，切削液的供應及帶有多孔玻璃黏合劑的金剛砂砂輪引起嚴重的問
題。在任何情況下，這些基于接觸的方法在旋轉刀具中只適合于宏
觀幾何量的測量，被限制在少數的研究中。
另一組用于砂輪測量的傳感器是基于氣動系統。雖然由于
噴嘴直徑是1mm或更大，這種方法在原理上不能檢測砂輪微觀幾何
量的特性，但它們對于檢測宏觀幾何量是很重要的。有壓縮空氣供
應的系統及沒有壓縮空氣供應的系統要分開。后者，以測量旋轉砂
輪的氣流為特性。結果表明，氣流依賴于傳感器距表面的距離，圓
周速度，并且受砂輪外形的影響。有壓縮空氣供應的方法是基于噴
嘴彈回金屬板的原理，通過砂輪彈回金屬板。這些系統有能力測量
距離的變化及半徑的磨損，分辨率為0．2μm。正是由于這個特性
，以及易于安裝和適當的價格，所以氣動傳感器在工業中可以被接
受。
另一個記錄砂輪宏觀幾何量的方法已發表。在利用CBN砂
輪進行高速內徑磨削的過程中，通過小直徑的砂輪，用帶有有源磁
性軸承的軸(AMBs)來達到必要的圓周速度200m／s。這種軸可以使
轉子從圍繞幾何中心軸旋轉轉換到圍繞慣性主軸旋轉來補償所有不
平衡。尤其是如果所用的電鍍CBN砂輪沒有修整的可能性時，應用
平衡面是必要的。測量在研磨層中以非常高的圓周速度旋轉的砂輪
的脫離，電容傳感器顯示了最好的性能。
聲學傳播信號也用于檢測砂輪的宏觀幾何特性。用一個裝
配有聲學傳播傳感器的單點金剛石修整器來檢測砂輪表面精確的位
置。因為由于湍流，聲學傳播信號在修整器沒有與砂輪接觸時可被
得到，在整個三個不同接觸條件可被區分為：非接觸，彈性接觸，
脆性接觸。建議應用彈性接觸范圍的聲學傳播標準來監測砂輪的精
確位置。當前惟一的不利是只能使用單點修整器，為了克服這個缺
點，對于旋轉修整工具的擴充是當前研究的主題。
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