本文標題："微加速度計采用體微細加工技術優點,表面微細輪廓儀"
發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------
人瀏覽過-----時間：2016-5-12 5:54:16
微加速度計采用體微細加工技術優點,表面微細輪廓儀
微型加速度計都是由壓力傳感器制造公司生產的，多是壓阻懸
臂型。因為壓阻效應受溫度影響較大，所以壓阻加速度計需要溫度
補償，這可能限制其適用的溫度范圍和最終的分辨能力。而電容式
加速度計對溫度不敏感，已被作為替代產品而廣泛開發。
已研制成功的幾種電容加速度計，其基本的傳感器元件、
質量塊和支撐梁均由體或表面微細加工技術制成。支撐梁可以是懸
臂型、扭桿型或隔膜型。像電容式壓力傳感器一樣，加速度計的傳
感器電容通常很小，因此寄生電容不容忽略，并需要信號形成和放
大等芯片電路。傳感器的信號輸出可依據所需的靈敏度、活動范圍
和波帶寬度，用一個簡單的開環回路方式或一個更復雜的閉式力平
衡方式得到。在汽車安全系統中應用的加速度計需要有自檢功能，
微加速度計都采用體微細加工技術，但采用表面微細加
工技術有以下優點：
(1)表面微細加工裝置有內在的支撐。
(2)表面微細加工只需一面加工，這一點傳統的IC加工更
兼容。
(3)用表面微細加工出來的裝置總體上結構尺寸更小，因此
有更高的生產效率，并能容納更多的微電子電路。
硅基表面微細加工的的缺點為：
(1)縱向尺寸差異不能大于2 pm，因此質量塊的質量太輕，
導致傳感器的靈敏度低，為增大質量，在質量塊上加重金屬層，
如Au。
(2)由于懸置的硅結構很容易運動(由于裝置結構的長厚比
大)，因此有貼到支撐底面的傾向，尤其是在加速運動過程中。
這兩個問題可通過在表面微細加工過程中采用電鍍技術加以
避免。
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微加速度計采用體微細加工技術優點,表面微細輪廓儀,金相顯微鏡現貨供應
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