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本文標(biāo)題:"碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠商"

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碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠商

 
關(guān)于碳化硅晶體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及其晶面
 
    蜷線顯微形貌的某些特征
 
  應(yīng)用多光束干涉法測定了碳化硅晶面上的顯微形貌 ,根據(jù)X射線
的研究結(jié)果討論了碳化硅表面形貌與其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的密切關(guān)系。
  碳化硅晶體有兩種特性:一方面是晶面的螺旋——層狀結(jié)構(gòu),另
一方面是多型性,亦即內(nèi)部結(jié)構(gòu)的超周期性;毫無疑義,這兩種性
質(zhì)是彼此聯(lián)系的。
  就對碳化硅晶體晶面上的許多蜷線進(jìn)行過研究,并不提出了這樣
的假定,即蜷線梯階的高度應(yīng)該等于梯階高度方向的點(diǎn)陣參數(shù)或是
它的倍數(shù),同時(shí),“有規(guī)律的晶面蜷線層引起碳化硅晶體獨(dú)有的多
層超結(jié)構(gòu)的形成”在研究SIC的結(jié)構(gòu)時(shí)指出,SIC晶體中的超周期性
與生長周期性的重復(fù)破壞有關(guān)。
 
  研究晶面所屬的形貌學(xué)和驗(yàn)證上述假設(shè),碳化硅是一種非常適宜
的對象,由于高硬度,耐酸性以及其他的一些性質(zhì),在制備時(shí),這
些晶體的表面不致有任何的變形在化學(xué)清洗時(shí)也不會(huì)有任何的變化
 
  我們的注意力曾集中于研究幾乎平滑的晶面的顯微形貌,若此時(shí)
晶體的軸垂直于爐心,則晶面通常在晶體面向爐子外圈的一面生長
;“相反”的一面,即在面向爐心的晶面上,通常可以看到骨架的
形成,這些晶面的蜷線的顯微形貌是多種多樣的,無論是“圓形的
”或多角形的,一圈的或多圈的,右旋的或左旋的蜷線都有發(fā)現(xiàn),
蜷線各種不同的結(jié)合情況也都曾觀察過,因?yàn)樵谧罱l(fā)表的許多著
作中,都可以找到有關(guān)說明,在此我們不再重復(fù)論述。
 

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