本文標題："層的厚度測量各種物理分析顯微鏡,精確測量晶格"
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層的厚度測量各種物理分析顯微鏡,精確測量晶格
物理分析
各種物理分析技術。從樣品的物理分析可以
得到晶向、晶體完整性、缺陷與位錯密度、切割或拋光損傷的程
度、層的厚度測量以及表面沾污的研究等情況。在大多數情況
下，體材料和表面的分析方法之間是沒有明顯差別的，而在有差
別的地方
腐蝕和顯微術
物理分析最重要的方面是采用普通顯微鏡或電子顯微鏡直接
觀察材料。結構缺陷常常可以利用適當的腐蝕方法來增強。這個
方法的突出的優點是效率高而且不需要昂貴的儀器設備。
X射線技術
在各種方法中，利用X射線花樣是有益的。勞埃法通常用于
單晶定向，使晶體受到白X射線束的照射。為了保證晶體中各個
平面都能滿足布拉格定律，必須使X射線束的波長范圍適應這種
變化的需要。一般是攝取背反射照片，所得的光斑花樣位于雙曲
線上。所有的光斑均是從單晶區的各個平面反射而產生的。這種勞
埃花樣反映出晶體的對稱性。體單晶是按大致給定的方向切割的，
然后把它裝在測向器的支架上，再在X射線裝置上進行調準。定
向以后可以把整個部件安裝在切割機上，按給定的方向切割。
透射X射線形貌圖是另一種非常有用的方法，不僅適用于位
錯的觀察，而且也適用于精確測量晶格參數和應力的分布。對于
砷化鎵和磷化銦來說，為了使X射線透過去，必須將樣品減薄到
70微米左右。反射形貌圖就不受厚度的限制，使測量能在很淺的
表面層內進行。穿透深度是反射平面的函數，它決定了表面的傾
角和布拉格角。采用CuK射線，對砷化鎵來說，其穿透深
度在0．5到22微米之間，而對磷化銦來說，其穿透深度為0．3到11
微米
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