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本文標(biāo)題:"光學(xué)、機(jī)械輪廓儀-高精度粗糙度測(cè)量?jī)x"

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光學(xué)、機(jī)械輪廓儀-高精度粗糙度測(cè)量?jī)x

 
  由于表面粗糙度對(duì)光學(xué)、機(jī)械、電子性能的重要影響,導(dǎo)致了表
面粗糙度評(píng)價(jià)和測(cè)量的各種技術(shù)極大發(fā)展。通常以光學(xué)表面粗糙度
的測(cè)量技術(shù)可以分為兩大類:一類是直接測(cè)量表面輪廓,并從表面
輪廓測(cè)量中獲得表面特性的統(tǒng)計(jì)參數(shù)。例如械械觸針或輪廓儀法,
光學(xué)輪廓儀及光學(xué)外差輪廓儀法。另一類是測(cè)量表面的統(tǒng)計(jì)參數(shù),
而并不是到輪廓。這種技術(shù)目前有光散射法、激光散斑法等。
 
表面粗糙度的基本表示法
 
 通常的工程是經(jīng)過各種加工處理的,它們的表面結(jié)構(gòu)很復(fù)雜。
例如經(jīng)磨削加工的機(jī)械零件,其表面具有明顯、規(guī)劃、周期性紋路
。但有些加工處理的零件表面可能是向各向同性的;即沿各個(gè)方向
測(cè)量得到的結(jié)果是相同或類似的,而它的結(jié)構(gòu)卻是隨機(jī)的。對(duì)大部
分工程來說,它們的表面顯微結(jié)構(gòu)是各向異性,而且是周期和隨機(jī)
特性二者的綜合。為了對(duì)表面形貌作定量的研究,發(fā)展了若干統(tǒng)計(jì)
參數(shù)和函數(shù)來表示表面的粗糙度特性。這些統(tǒng)計(jì)參數(shù)表征了表面形
貌的兩個(gè)基本方面;即表面的高度起伏(振幅)和這些起伏之間的
縱向間隔(有時(shí)稱作波長(zhǎng))。

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