本文標(biāo)題："微型的光學(xué)測(cè)量或機(jī)械測(cè)量輪廓測(cè)量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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微型的光學(xué)測(cè)量或機(jī)械測(cè)量輪廓測(cè)量工具顯微鏡
在常用的超精密形狀測(cè)量法中，利用光干涉的面
形測(cè)量法運(yùn)用的最多。干涉測(cè)量法的應(yīng)用前提是必
須要保證基準(zhǔn)元器件的精度，但如何保證其精度是
現(xiàn)在面臨的主要問(wèn)題之一。而且目前非球面形狀的
干涉測(cè)量法仍舊不成熟，這也是現(xiàn)在需要解決的關(guān)
鍵問(wèn)題之一。鑒于干涉法對(duì)振動(dòng)或環(huán)境的適應(yīng)很弱
的情況下，該測(cè)量方法更傾向于大型化的光學(xué)系統(tǒng)
測(cè)量，而不是傾向于微型的光學(xué)測(cè)量或機(jī)械測(cè)量。
與此相對(duì)應(yīng)的是，掃描測(cè)量方法可以實(shí)現(xiàn)球面或平
面，以及非球面等多種形狀的簡(jiǎn)單在線測(cè)量。
一般的， 在掃描測(cè)量法中，需先確定好嚴(yán)格的測(cè)
量基準(zhǔn)，然后開(kāi)始對(duì)對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行掃描，以此查
獲得被測(cè)量物的相對(duì)位置變化或相對(duì)角度等。根據(jù)
母性原理，掃描測(cè)量法和測(cè)量精度由以下兩個(gè)因素
決定：
（1）傳感器的檢測(cè)精度
（2）掃描基準(zhǔn)的運(yùn)動(dòng)精度
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