本文標題："顯微鏡觀察金屬絲網結構特點-金相分析儀器"
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掃描電子顯微鏡的示意圖.掃描電子顯微鏡中透鏡
系列的作用不是象透射電子顯微鏡那樣用來產生放大，而是用以
減小電子束的直徑，以便當電子束打到試樣上時其直徑僅在200埃
或300埃左右.此外，還必須有一種以光柵方式使電子束在樣品
表面進行掃描的方法，這可以用靜電偏轉板或磁線圈來達到.當
電子束轟擊在試樣上時，
存在著取出幾種不同類型
的信號的可能性.某些入射電子將被背散射而沒有明顯的能量損
失，它們可以用PIN表面勢壘二極管來檢測.還會產生低能二次
電子，它們可以用具有幾百伏正偏壓的金屬絲網來收集，然后經過
數千伏高壓電場的加速而打到閃爍晶體上.把閃爍晶體受轟擊時
發出的光禍合到一個光電倍增管上，光電倍增管的輸出將正比于
收集到的二次電子的數目.如果被研究的材料具有電子轟擊后會
發光(陰極射線致發光)的性質，則也可將這樣發出的光通過一個
導光管或透鏡系統禍合到檢測器中去
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