本文標題："顯微鏡的工作原理-可觀察、分析鍍極層的三維表面"
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顯微鏡的工作原理-可觀察、分析鍍極層的三維表面
原子力顯微鏡是在掃描隧道顯微鏡
(STM)基礎上發展起來的，是將STM和針式輪廓曲線儀的工作原理相結合的微觀
成像系統，可觀察、分析鍍極層的三維表面形貌。
原子力顯微鏡的工作原理原子力顯微鏡通過一個一端固定、另一端裝
有針尖的彈性微懸臂來檢測表面形貌。當針尖對樣品表面掃描時，兩者之間會產生
靜電力、范德華力等弱的相互作用力，進而引起了微懸臂的形變，微懸臂的形變可
反映針尖與樣品的相互作用情況。這類弱作用力與針尖與樣品間的距離有關，表面
的微觀起伏會影響微懸臂的形變，即表面形貌的變化導致了相互作用力的改變。如
果用激光探測微懸仲的位移并將其反射到光電檢測器后，就變成了3一10nm的激
光點位移，由此產生了電壓的變化，通過檢側樣品表面不同掃描位置電壓的變化，
就能夠得到原子分辨率的表面形貌圖像。
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