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本文標題："元件灌封工藝樣品金相制樣步驟-金相顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-6-4 17:15:47

元件灌封工藝樣品金相制樣步驟-金相顯微鏡

對于大多數元件。真空灌封工藝是非常可靠的。然而，在對關鍵的一類樣品

進行灌封時，摩爾夫(Murphy)法則不可避免地也會出來搗亂。已經擬定出各

種措施來補償用環氧樹脂座圈所遇到的問題.協一擠

環氧樹脂開裂是環熟樹脂脫離樣品表面的一種狀態,開裂的原因可能是

在灌封之前樣品不干凈.固化劑和樹脂的比例失調或刻蝕有問題。制備存在

這種狀態的座圈將導致完全喪失邊緣的完整以及反映任何關鍵表面特征的能

力。開裂通常能夠通過回填環氧樹脂加以彌補.

回填步驟:回填步驟的第一步是在水杯中用超聲波清洗樣品。然后，從

水中取出樣品并用壓縮空氣吹干。將樣品放入100℃的烘箱，以驅散開裂界

面內存在的任何殘余濕氣.然后，將一段透明帶纏繞在座圈頂端邊緣四周，

形成一少環.再將環氧樹脂混合，在座圈表面上灌注環氧樹脂薄層。將座圈

放入真空室，抽出空氣，因而能使環氧樹脂填充因開裂形成的問隙。然后，

使空氣進入真空室。抽真空和送入空氣的循環重復兩三次，以保證環氧樹脂

完全回填。然后，將座圈從真空室取出并在室溫下固化。

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