本文標(biāo)題："表面光潔度測(cè)定儀器-自動(dòng)式輪廓測(cè)量?jī)x的原理"

表面光潔度測(cè)定儀器-自動(dòng)式輪廓測(cè)量?jī)x的原理

檢查表面光潔度顯微干涉儀

    我們討論了利用光的干涉檢查表面質(zhì)量的方法。在那里的討論中，
表面質(zhì)量一詞是指表面上局部缺陷的存在，幾何形狀的偏離，以及幾
何尺寸（如球而半徑）的準(zhǔn)確程度等。這都屬于表面的宏觀幾何形狀
方面的狀況。除此之外，反映一個(gè)表面（特別是金屬零件的表面）在
加工后的狀況的，還有它的光滑程度。

    因?yàn)樵诩庸み^程中，切削刀具或磨具不可避免地要留下痕跡，在
表面上形成細(xì)微的起伏輪廓，起伏越小，表面越光滑。在機(jī)械制造業(yè)
中，表面的光滑程度是用表面光潔度來表明的，

    表面光潔度的檢查方法有多種。有的是與已知光潔度等級(jí)的樣板
作比較，靠肉眼或放大鏡或顯微鏡對(duì)光潔度作出主觀估計(jì)。

    此外，對(duì)于等級(jí)較商的光潔度，細(xì)微起伏的值常只有十分之幾甚
至百分之幾微米，機(jī)械方法便不夠精確了。要在檢查時(shí)不與表面作機(jī)
械的直接接觸以及對(duì)高等級(jí)光潔度作出可信的估計(jì)，必須應(yīng)用光學(xué)方
法，特別是光的千涉的方法。在精密的工作中，可使用專為檢查表面
光潔度而設(shè)計(jì)的干涉儀

    現(xiàn)代光學(xué)儀器工廠，在制造高質(zhì)量的棱鏡和透鏡等光學(xué)元件時(shí)，
常需要對(duì)加工的元件進(jìn)行象差的檢查與測(cè)量，以便作進(jìn)一步加工。檢
查的方法也多利用光的干涉，使用泰曼- 格林干涉儀。這種千涉儀也
是從邁克耳孫干涉儀演變出來的。

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